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FB18 Elektrotechnik und Informationstechnik · Angeboten in WiSe 2025/26
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Einführung und Grundbegriffe der Mikrosystemtechnik; Skalengesetze; Werkstoffe und Herstellungsprozesse der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Mikromechanik. Design von Mikrosystemen: Sensoren, Aktoren, mikrofluidische Systeme. Die Themen werden mit zahlreichen Beispielen aus praktischen Anwendungen illustriert.
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